高真空电阻蒸发镀膜设备
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主要技术指标
箱体材料 304不锈钢,厚度3mm;
箱体尺寸 长度2400mm 深度1000mm 高度900mm;
倾斜视窗 透明钢化安全玻璃,厚度8mm;
手套口 材料为铝合金O型圈密封;
手套 丁基橡胶厚度0.4mm,直径8英寸;
过滤器 规格0.3μm,一个气体入口和一个气体出口;
置物架 材料不锈钢材料,内置2层,高度可调;
箱体照明 位置LED灯,安装在灯罩内;
接口 规格DN40KF,备用接口若干、电源接口1个(220V);
净化单元
功能 闭路循环,除水、除氧;
容器材料 304不锈钢;
净化材料 铜触媒5kg、分子筛5kg;
净化能力 除氧60L、除水2kg;
H2O、O2 <1ppm;
工作气体 氮气、氩气、氦气;
循环能力 集成风机流量90m³/h(可提供更大风机流量145m³/h、180m³/h);
再生操作 PLC自动控制再生过程;
再生气体 工作气体与氢气混合气体(氢气5%- 10%);
真空泵 12m³/h;
过渡仓
大过渡仓尺寸 直径360mm,长度600mm(可选直径400mm);
大过渡仓材料 304不锈钢;
大过渡仓表面 内表面为油膜拉丝面,外表面为喷漆或镜面;
大过渡仓托盘 滑动托盘;
大过渡仓仓门 双门,铝合金材质,表面阳极氧化处理,厚度10mm竖直操作,带提升结构;
大过渡仓操作 自动控制;
小过渡仓尺寸 直径150mm,长度300mm;
小过渡仓材料 304不锈钢;
小过渡仓表面 内表面为油膜拉丝面,外表面为喷漆或镜面;
小过渡仓操作 自动控制;
控制系统
控制系统显示 7''触摸屏;
控制系统功能 包括自诊断、断电自启动特性,具有压力控制和自适应功能,自动控制、循环控制、密码保护;
控制系统压力控制 控制箱体、过渡舱的压力,箱体工作压力+/- 15mbar内可以自由设定,超出+/- 16mbar系统自动保护;
控制系统脚踏开关 箱内气压可通过脚踏开关调整;
控制系统数据备忘录 自动记录系统数据;
氧分析仪 测量范围0~1000ppm
水分析仪 测量范围0~1000ppm;
主要特点
自主研发、专业密封、无泄漏(泄漏率<0.001vol%/h);
高效的气体净化系统 H2O、O2:<1ppm,最低可达0.01PPM,效率高;耗时短;
水氧检测准确 适合手套箱气氛环境的检测技术;精准度高专业水氧探头保护技术;
使用寿命长;对水氧探头在线标定,水氧监测数据可靠;
专业模块化设计 便于集成零配件;
节能可靠 再生频率低,每年一次;密封寿命长,稳定可靠;
超低噪音,通常噪音小于40分贝;超低能耗,开启节能模式能耗小于50W;