手套箱蒸发镀膜机

ZZB型真空热蒸发与手套箱组合系统的用户群体为科研院所实验室,真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝衔接,操控融为一体,广泛应用于OLED、PLED、OPV研究领域。

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主要技术指标

ZZB型真空热蒸发与手套箱组合系统的用户群体为科研院所实验室,真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝衔接,操控融为一体,广泛应用于OLED、PLED、OPV研究领域。



主要特点


◆自主研发、专业密封、无泄漏

◆手套箱和镀膜机程序互联,避免手套被吸破的风险;

◆真空室和手套箱无缝衔接;做到无水、无氧、无尘,薄膜制备与后期工序顺畅无污染;较传统真空腔室与手套箱环境的机械传递,这种结构更简单,可靠,方便。

◆前门的锁紧机构采用自动锁紧,从而避免了前门关不严还要手动推紧、手动锁紧装置开门时候损坏密封圈等问题,使用设备更方便、快捷、可靠;

◆ 304 真空专用不锈钢材质、镜面抛光、前门采用侧滑结构,节约手套箱箱里面空间,真空极限高,使用维护方便。

◆ FF200/1300 型分子泵作为主抽泵,实现抽真空快,真空极限高达10-5Pa 

◆ 蒸发源采用合理的水冷结构,精密的水路结构设计,使电极温升小,可长时间连续稳定工作合理的蒸发源布局,保证每个蒸发源到基片的距离完全一样,提高了成膜质量和均匀性;

◆ 基片台采用步进电机控制,磁流体传动,电机和磁流体同轴,不会产生丢转、爬行等情况,停止后自动回正,方便基片的取放,转速范围0-40rpm

◆ 源-基距350mm,膜厚仪监测蒸发速率和终厚,达到良好的薄膜均匀性和重复性;

◆自动化控制系统,所有操作均在操作台完成,可以自动开/关机,减少人员等待时间,对各种异常情况进行报警并执行相应保护措施,对各种数据进度记录并保存;